| 要因発生元 | 割込み要因 | ベクタ番号 |
| 外部端子 | NMI | 7 |
| IRQ0 | 12 |
| IRQ1 | 13 |
| IRQ2 | 14 |
| IRQ3 | 15 |
| IRQ4 | 16 |
| IRQ5 | 17 |
| ウォッチドッグタイマ | WOVI(インターバルタイマ) | 20 |
| リフレッシュコントローラ | CMI(コンペアマッチ) | 21 |
| ITU チャネル 0 | IMIA0(コンペアマッチ／インプットキャプチャ A0) | 24 |
| IMIB0(コンペアマッチ／インプットキャプチャ B0) | 25 |
| OVI0(オーバフロー 0) | 26 |
| ITU チャネル 1 | IMIA1(コンペアマッチ／インプットキャプチャ A1) | 28 |
| IMIB1(コンペアマッチ／インプットキャプチャ B1) | 29 |
| OVI1(オーバフロー 1) | 30 |
| ITU チャネル 2 | IMIA2(コンペアマッチ／インプットキャプチャ A2) | 32 |
| IMIB2(コンペアマッチ／インプットキャプチャ B2) | 33 |
| OVI2(オーバフロー 2) | 34 |
| ITU チャネル 3 | IMIA3(コンペアマッチ／インプットキャプチャ A3) | 36 |
| IMIB3(コンペアマッチ／インプットキャプチャ B3) | 37 |
| OVI3(オーバフロー 3) | 38 |
| ITU チャネル 4 | IMIA4(コンペアマッチ／インプットキャプチャ A4) | 40 |
| IMIB4(コンペアマッチ／インプットキャプチャ B4) | 41 |
| OVI4(オーバフロー 4) | 42 |
| DMAC | DEND0A | 44 |
| DEND0B | 45 |
| DEND1A | 46 |
| DEND1B | 47 |
| SCI チャネル 0 | ERI0(受信エラー 0) | 52 |
| RXI0(受信データフル 0) | 53 |
| TXI0(送信データエンプティ 0) | 54 |
| TEI0(送信終了 0) | 55 |
| SCI チャネル 1 | ERI1(受信エラー 1) | 56 |
| RXI1(受信データフル 1) | 57 |
| TXI1(送信データエンプティ 1) | 58 |
| TEI1(送信終了 1) | 59 |
| A/D | ADI(A/D エンド) | 60 |